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HIPIMS


Hochleistungs-Impuls-Magnetronzerstäubung: HiPIMS


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Mit HiPIMS können bei geringer mittlerer Leistung und somit geringer Aufheizung von Target, Substrat und Beschichtungsanlage hohe Spitzenleistungen erreicht werden. Das führt im Vergleich zu konventioneller Magnetronzerstäubung zu einem höheren Ionisationsgrad und einer höheren Energie der zur Schichtbildung beitragenden Teilchen. Dadurch können Schichten mit höherer Dichte, besserer Anhaftung und geringerer Rauheit erzeugt werden. Außerdem wird auch auf nicht flachen Substraten eine gleichmäßige Beschichtung erreicht.


In einem aktuellen Kooperationsprojekt entwickeln NTTF Coatings, ini Coatings und ein Forschungsinstitut Prozesse und Anlagen zur Erzeugung hitzebeständiger und verschleißfester amorpher Kohlenstoffschichten mit geringem Reibungskoeffizienten und guter Haftfestigkeit auf Gleitlagern für effiziente Motoren. Dabei wird außerdem eine deutlich höhere Abscheiderate als bei herkömmlichen Methoden erreicht. Die erzeugten Schichten zeichnen sich durch folgende Parameter aus:




Das Projekt


Dieses Projekt wird vom Bundesministerium für Wirtschaft und Technologie im Rahmen des Zentralen Innovationsprogramms Mittelstand gefördert (Förderkennzeichen: KF2672302BN3).


Hier finden Sie eine Artikel zu den so entstehenden Schichten.



Parameter

Zielwert

Maximale Anwendungstemperatur

≥ 500 °C

Vickers- Härte a-C:H

≥ 2500 HV

Vickers- Härte TiC

≥ 3000 HV

Vickers- Härte a-C

≥ 4000 HV

Rockwell-Haftfestigkeitsklasse auf Stahl

HF1 – HF2

Reibungskoeffizient gegen Beschichtung

≤ 0.08

Reibungskoeffizient gegen Stahl

≤ 0.12

Abscheiderate

≥ 1 µm/h